高產(chǎn)能microCELL系統(tǒng)
3D-Micromac將展出用于半電池切割的microCELL熱激光切割工藝(TLS)系統(tǒng)。同時(shí)還推出第二代microCELLOTF系統(tǒng),該系統(tǒng)用于高效率“鈍化發(fā)射極及背局域接觸”(PERC)太陽能電池的“激光接觸開口”(LCO)。
這一業(yè)界驗(yàn)證的microCELLOTF系統(tǒng)可以在背面鈍化多晶硅和單晶硅太陽能電池上生成選擇性開口,以便太陽能電池吸收更多的光線。這一全新推出的第二代系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)每小時(shí)逾8,000塊晶片的超高生產(chǎn)率,其產(chǎn)能不僅是上一代microCELLOTF系統(tǒng)的兩倍,同時(shí)也遠(yuǎn)超其他競爭解決方案。這一優(yōu)勢得益于雙線晶片處理以及實(shí)時(shí)激光加工技術(shù)。
由于單激光工序的產(chǎn)能現(xiàn)在可與生產(chǎn)線中其他工序的產(chǎn)能相匹配,該新一代工具便可滿足客戶的雙線或三線金屬化機(jī)械設(shè)備內(nèi)聯(lián)集成的需求,從而確保激光加工不再成為物料流中的瓶頸環(huán)節(jié)。
除PERC以外,該工具還可用于激光摻雜選擇性發(fā)射極技術(shù)。